[데일리엔뉴스 유석주 기자] 화성특례시가 글로벌 반도체 장비기업 ASM의 혁신제조센터 준공으로 ‘반도체 혁신도시’ 위상을 더욱 강화했다.

ASM은 화성사업장 인근에 조성한 연구·제조 혁신 거점의 완공을 기념해 8일 준공식을 열었다.

행사에는 조승문 화성특례시 제2부시장, 고영인 경기도 경제부지사, 히쳄 엠사드 ASM CEO, 이영석 ASM 코리아 대표 등 100여 명이 참석했다.

혁신제조센터는 총 1350억 원을 투입해 연면적 3만1577㎡ 규모로 신축됐으며, 차세대 반도체 웨이퍼 증착 장비 중 핵심 공정인 플라스마 원자층 증착(PEALD) 기술 연구개발의 중심 시설로 운영될 예정이다.

엠사드 ASM CEO는 “화성특례시의 전폭적인 지원이 있었기에 혁신제조센터가 차질 없이 완공됐다”며 “첨단 공정 기술 역량을 강화하고 화성시와의 협력을 더욱 확대하겠다”고 밝혔다.

조승문 제2부시장은 “ASM의 준공은 화성시가 글로벌 소부장 기업의 전략적 거점으로 성장하고 있다는 증거”라며 “기업 연구·투자가 원활히 추진되도록 인허가, 기반시설, 협력 생태계 조성 등 행정 지원을 지속하겠다”고 말했다.

화성특례시는 2024년부터 대규모 투자기업 지원 전담팀을 운영하며 ASML·ASM 등 글로벌 반도체 기업과의 협력 구조를 강화해왔다.

시는 인허가 지원, 기반시설 조성, 연구협력 체계 구축 등을 통해 ‘K-반도체 벨트 핵심 도시’로 도약하겠다는 전략을 추진 중이다.